GB/T 18867-2002 电子工业用气体六氟化硫（英文版）北京翻译公司|北京市翻译|北京文心雕语翻译公司

标准编号	GB/T 18867-2002
标准名称	GB/T 18867-2002 电子工业用气体六氟化硫（英文版）
英文名称	Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
发布日期	2002-10-15
实施日期	2003-04-01
全文页数	9
原版价格	10.00元
是否译文	是
译文报价	277.00元
译文格式	Word/PDF
目录简介	本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。
关键字	GB/T 18867 English Code