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标准编号  
GB/T 1558-2009
标准名称  
GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法 (英文版)
英文名称  
Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption
发布日期  
2009-10-30
实施日期  
2010-06-01
全文页数  
12
原版价格  
15.00元
是否译文  
译文报价  
720.00元
译文格式  
Word/PDF
目录简介  
本标准规定了硅中代位碳原子含量的红外吸收测量方法。
本标准适用于电阻率高于3Ω·cm 的p型硅片及电阻率高于1Ω·cm 的n型硅片中代位碳原子含量的测定,对于精密度要求不高的硅片,可以测量电阻率大于0.1Ω·cm 的硅片中代位碳原子含量。
由于碳也可能存在于间隙位置,因而本方法不能测定总碳含量。
本标准也适用于硅多晶中代位碳原子含量的测定,但其晶粒界间区的碳同样不能测定。
关键字  
GB/T 1558 English Code
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