GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法（英文版）北京翻译公司|北京市翻译|北京文心雕语翻译公司

标准编号	GB/T 14847-1993
标准名称	GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法（英文版）
英文名称	Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
发布日期	1993-01-02
实施日期	1994-09-01
全文页数	8
原版价格	10.00元
是否译文	是
译文报价	236.00元
译文格式	Word/PDF
目录简介	本标准规定了重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。本标准适用于衬底室温电阻率小于0.02Ω·cm和外延层室温电阻率大于0.1Ω·cm 且外延层厚度大于2μm的硅外延层厚度的测量。
关键字	GB/T 14847 English Code